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 SE3000

 PFA一体型圧力センサー

 

 
  • 強酸、強アルカリに最適なPFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:薬液供給



 SE4000

 粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適

 デッドスペースが無いため、CMPスラリーの硬化、気泡などトラブルがありません。

 
  • フロースルー構造により高粘度に対応したPFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:スラリー



 SE4000/6200

 粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適

 表示器一体型SE4000/6200シリーズは、現場の圧力監視に最適

 
  • フロースルー構造により高粘度に対応した表示一体型PFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:スラリー



 SE2203

 微圧高耐圧腐食性圧力センサー

 フィルターの目詰り監視に最適

 
  • アンモニア用
  • ゲージ圧:0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
  • 4-20mA出力、チューブ出し1/2”
  • 接液部:PTFE(ボディ)、セラミック(ダイヤフラム)、バイトン(O-ring)
  • アプリ:アンモニア供給



 SE2201

 

 

 
  • アルミナセラミックによる耐腐食性能を有した微圧可能な測定センサー
  • 0~50,100kPa
  • 電流出力、Tube接続
  • 接液部:PFA(ボディ)、セラミック(ダイヤフラム)、バイトン(O-ring)
  • アプリ:排気ライン、薬液タンク