PRODUCT



 HYW

 ガス供給ライン(CC,VMB,BSGS)で効果を発揮する高精度圧力センサー

 従来品に比べ安定性が向上

 
  • 高耐食ハステロイダイヤフラム圧力センサ
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部ハステロイC-22、SUS316L
  • シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル



 ARH

 気化器周辺、超臨界装置、検査装置等、マルチに活躍する圧力センサ

 高温流体計測用

 
  • 高温流体用圧力センサ(最大150℃)
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
  • 外部アンプより電流/電圧出力
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • 滅菌、気化、超臨界装置



 HYZ

 マイコン搭載高精度圧力センサ

 高耐食性ハステロイダイヤフラム搭載

  
  • デジタル処理による補正で安定性が向上
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 5, 20MPa
  • 温度補正機能による安定性 ±0.02%FS/℃(温度補償範囲内)※
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル



 HYPFZW

 集積型ガスパネル用圧力センサー

 高精度・環境変化に対して高い安定性を実現

 
  • 接ガス部はオールSUS316L ガスパネル向け圧力センサ
  • ゲージ圧:-0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 HYZFZW

 マイコン搭載高精度圧力センサ

 シール部の締め込みがゼロ値に影響しない構造

 
  • 高耐食ハステロイダイヤフラム採用 ガスパネル向け圧力センサ
  • -0.1または0~0.5, 1MPa
  • 電流出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 SE1000

 絶対圧センサ

 真空容器やガス供給ラインでのロードロックに最適

 
  • 真空圧力監視用 絶対圧センサ
  • 絶対圧:0-760, 1000torr
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:SUS316L
  • 真空容器やガス供給ラインのロードロック



 SE600/610

 産業用・汎用小型圧力センサ

 予算やスペースを気にしないで使えます

 
  • 産業用・汎用小型圧力センサ
  • 微圧50kPaから高圧35MPaまで選択可能
  • 1-5V出力
  • 接ガス部:SE600/SUS304・SUS630, SE610/SUS316L
  • フィルタの目詰り監視、容器レベル圧、油圧制御



 SE700

 お客様のご要望をいただきラインナップを増やしてきました

 Swagelok、PTネジ、PFネジに対応

 
  • 一般産業用圧力センサ
  • ゲージ圧:-0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20MPa
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:ハステロイC-22またはSUS316L、SUS316
  • 油圧、空圧、不活性ガスなど



 SE901

 耐腐食性微圧計測用圧力センサ

 フィルターの目詰り監視に最適

 
  • アルミナセラミックスダイヤフラム採用 ガス用微圧センサ
  • 0~50, 100kPa ※負圧測定も可能
  • 電流出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:アルミナセラミックス、SUS316
  • ダクト・フィルタ監視



 HYW6220

 ガス供給ライン(CC,VMB,BSGS)で効果を発揮する高精度圧力センサー

 その場で数値を確認できる表示器一体型

 
  • 圧力センサHYW上部に表示器を搭載。スイッチとしても使用可能。
  • ゲージ圧: -0.1または0 ~ 0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa​
  • 4桁表示対応(±9999内 任意の4000digit分)
  • 電流/電圧出力。35×35mmのパネルサイズ。
  • アプリ:シリンダーキャビネット、ガス供給設備



 HYP6700

 表示器付多機能圧力センサー

 設置方向を選ばない表示回転機構を実現!

 
  • 圧力センサHYPに1.125”サイズの表示器を搭載。
  • 接ガス部: SUS316L
  • ゲージ圧:-0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
  • 4桁表示対応
  • 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能(270℃)。
  • アプリ:ガスパネル



 HYP6801

 表示器付多機能圧力センサー

 設置方向を選ばない表示回転機構を実現!

 
  • 圧力センサHYPに1.125”サイズの表示器を搭載
  • 接ガス部:SUS316L
  • ゲージ圧: -0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
  • 4桁表示対応
  • 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能(360℃) 。
  • アプリ:ガスパネル



 HYZ6700

 

 

 
  • 圧力センサHYZに1.125”サイズの表示器を搭載。
  • 接ガス部:SUS316L、ハステロイC-22
  • ゲージ圧:-0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
  • 4桁表示対応
  • 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能。
  • アプリ:ガスパネル



 HYZ6801

 

 

 
  • 圧力センサHYZに1.125”サイズの表示器を搭載。
  • 接ガス部:SUS316L、ハステロイC-22
  • ゲージ圧: -0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
  • 4桁表示対応
  • 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能 。
  • アプリ:ガスパネル



 HYP-B

 

 

 
  • ゾーン0対応 本質安全防爆構造(ExiaⅡCT4X)
  • ゲージ圧: -0.1または0 ~ 1, 5, 10, 20MPa
  • 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
  • 接ガス部:SUS316L(VCR, UJR継手), SUS316(他継手)
ハステロイC-22(ダイヤフラム)
  • アプリ:ガス供給設備、シリンダーキャビネット(防爆エリア)



 HYZ-N

 

 

 
  • ゾーン2対応 非点火防爆構造”n”型(ExnAⅡCT5Gc)
  • ゲージ圧: -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
  • 接ガス部: SUS316L(VCR, UJR継手), SUS316(他継手) ハステロイC-22(ダイヤフラム)
  • アプリ:ガス供給設備、シリンダーキャビネット(防爆エリア)



 KS

  **Coming soon**

 

 
  • ゾーン2対応 非点火防爆構造”n”型(ExnAⅡCT5Gc)
  • ゲージ圧: 0 ~ 5kPaの微圧専用
  • 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
  • 接ガス部: SUS316L(VCR, UJR継手), SUS316(他継手) ハステロイC-22(ダイヤフラム)
  • アプリ:ガス供給設備、シリンダーキャビネット(防爆エリア)




 PSH-00

 圧力スイッチ

 

 
  • ゲージ圧スイッチ
  • -0.1または0~500kPaで1接点
  • 設定出力:PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 PSH-03

 

 

 
  • 絶対圧スイッチ
  • 絶対圧:0~1000torrで1接点
  • 設定出力:PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 SE3000

 PFA一体型圧力センサー

 

 
  • 強酸、強アルカリに最適なPFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:薬液供給



 SE4000

 粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適

 デッドスペースが無いため、CMPスラリーの硬化、気泡などトラブルがありません。

 
  • フロースルー構造により高粘度に対応したPFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:スラリー



 SE4000/6200

 粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適

 表示器一体型SE4000/6200シリーズは、現場の圧力監視に最適

 
  • フロースルー構造により高粘度に対応した表示一体型PFAセンサー
  • -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:スラリー



 SE2203

 高耐腐食性圧力センサー

 セラミックダイヤフラム採用

 
  • アンモニア用
  • ゲージ圧:0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
  • 4-20mA出力、チューブ出し1/2”
  • 接液部:PTFE(ボディ)、セラミック(ダイヤフラム)、バイトン(O-ring)
  • アプリ:アンモニア供給



 SE2201

 

 

 
  • アルミナセラミックによる耐腐食性能を有した微圧可能な測定センサー
  • 0~50,100kPa
  • 電流出力、Tube接続
  • 接液部:PFA(ボディ)、セラミック(ダイヤフラム)、バイトン(O-ring)
  • アプリ:排気ライン、薬液タンク



 ATM300

 マイコン自動気密計

 

 
  • 温度補正機能付きのマイコン搭載機密検査器
  • -0.1または0~25MPa ※圧力センサーに依存
  • 電流出力の圧力センサーに対応
  • 圧力測定10点、温度測定1点に対応
  • アプリ:シリンダーキャビネット、圧力容器



 NPS1000B

 小型デジタル圧力表示器

 制御盤組込み用多機能表示器

 
  • センサーへの供給電源内蔵の小型表示器
  • 4桁表示対応
  • 電流/電圧/RS485出力と豊富な選択肢
  • 24×48mmのDIN規格対応
  • アプリ:シリンダーキャビネット、制御盤



 TDWS61B

 デジタル表示器

 センサーへの別電源不要な多機能表示器

 
  • センサーへの供給電源内蔵、操作性に優れるジョグスイッチを採用
  • 4桁表示対応
  • 電流出力対応
  • 48×96mmのDIN規格対応
  • アプリ:シリンダーキャビネット、制御盤



 SET100

 各種流体用温度センサー

 Ultra Cleanに応じた温度センサーラインナップ

 
  • VCR継手で直接配管内の半導体材料ガスの温度測定が可能
  • 100℃対応
  • 電流出力、Pt100Ωに対応
  • 接ガス部:SUS316L
  • アプリ:シリンダーキャビネット



 SET102

 

 

 
  • 強酸、強アルカリに最適なPFA温度センサー
  • 100℃対応
  • Pt100Ω出力
  • 接液部:PFA
  • アプリ:薬液供給



 SETTTC

 

 

 
  • 最小限のデッドスペースで圧力損失を防いだ腐食性流体対応温度センサー
  • 100℃対応
  • T熱電対/K熱電対、Super300/フレア対応
  • 接液部:PFA
  • アプリ:薬液供給



 SEW

 二線式高精度台はかり

 液化ガスの残量管理に最適

 
  • ボンベの残量監視に適した低床型ロードセル
  • 0~50,100,200kgf ※□200は100kgfまで
  • 電流出力対応、□200~□420
  • カバー材質:SUS304
  • アプリ:シリンダーキャビネット