PRODUCT



 PSH-00

 圧力スイッチ

 

 
  • ゲージ圧スイッチ
  • -0.100または0~500kPaで1接点
  • 設定出力:PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 PSH-03

 

 

 
  • 絶対圧スイッチ
  • 絶対圧:0~1000torrで1接点
  • 設定出力:PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル