PRODUCT
PSH-00
圧力スイッチ
- ゲージ圧スイッチ
- -0.1または0~500kPaで1接点
- 設定出力：PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
- 接ガス部：SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
PSH-03
- 絶対圧スイッチ
- 絶対圧：0~1000torrで1接点
- 設定出力：PhotoMOSリレー、集積型/VCR各種サイズ対応
- 接ガス部：SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
