PRODUCT
SE3000
PFA一体型圧力センサー
- 強酸、強アルカリに最適なPFAセンサー
- -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
- 接液部：PFA
- アプリ：薬液供給
SE4000
粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適
デッドスペースが無いため、CMPスラリーの硬化、気泡などトラブルがありません。
- フロースルー構造により高粘度に対応したPFAセンサー
- -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
- 接液部：PFA
- アプリ：スラリー
SE2203
高耐腐食性圧力センサー
セラミックダイヤフラム採用
- アンモニア用
- ゲージ圧：0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
- 4-20mA出力、チューブ出し1/2”
- 接液部：PTFE（ボディ）、セラミック（ダイヤフラム）、バイトン（O-ring）
- アプリ：アンモニア供給
SE2201
- アルミナセラミックによる耐腐食性能を有した微圧可能な測定センサー
- 0~50,100kPa
- 電流出力、Tube接続
- 接液部：PFA（ボディ）、セラミック（ダイヤフラム）、バイトン（O-ring）
- アプリ：排気ライン、薬液タンク
