PRODUCT
HYW
ガス供給ライン（CC,VMB,BSGS）で効果を発揮する高精度圧力センサー
従来品に比べ安定性が向上
- 高耐食ハステロイダイヤフラム圧力センサ
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
- 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
- 接ガス部ハステロイC-22、SUS316L
- シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル
ARK
気化器周辺、超臨界装置、検査装置等、マルチに活躍する圧力センサ
高温流体計測用
- 高温流体用圧力センサ（最大150℃)
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
- 外部アンプより電流/電圧出力
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- 滅菌、気化、超臨界装置
HYZ
マイコン搭載高精度圧力センサ
高耐食性ハステロイダイヤフラム搭載
- デジタル処理による補正で安定性が向上
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 5, 20MPa
- 温度補正機能による安定性 ±0.02％FS/℃（温度補償範囲内）※
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル
HYPF
集積型ガスパネル用圧力センサー
高精度・環境変化に対して高い安定性を実現
- 接ガス部はオールSUS316L ガスパネル向け圧力センサ
- ゲージ圧：-0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
- 接ガス部：SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
HYZF
マイコン搭載高精度圧力センサ
シール部の締め込みがゼロ値に影響しない構造
- 高耐食ハステロイダイヤフラム採用 ガスパネル向け圧力センサ
- -0.1または0~0.5, 1MPa
- 電流出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
SE1000
絶対圧センサ
真空容器やガス供給ラインでのロードロックに最適
- 真空圧力監視用 絶対圧センサ
- 絶対圧：0-760, 1000torr
- 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
- 接ガス部：SUS316L
- 真空容器やガス供給ラインのロードロック
HYP6700
表示器付多機能圧力センサー
設置方向を選ばない表示回転機構を実現！
- 圧力センサHYPに1.125”サイズの表示器を搭載。
- 接ガス部： SUS316L
- ゲージ圧：-0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
- 4桁表示対応
- 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能（270℃）。
- アプリ：ガスパネル
HYP6801
表示器付多機能圧力センサー
設置方向を選ばない表示回転機構を実現！
- 圧力センサHYPに1.125”サイズの表示器を搭載
- 接ガス部：SUS316L
- ゲージ圧： -0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
- 4桁表示対応
- 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能（360℃） 。
- アプリ：ガスパネル
HYZ6700
- 圧力センサHYZに1.125”サイズの表示器を搭載。
- 接ガス部：SUS316L、ハステロイC-22
- ゲージ圧：-0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
- 4桁表示対応
- 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能。
- アプリ：ガスパネル
HYZ6801
- 圧力センサHYZに1.125”サイズの表示器を搭載。
- 接ガス部：SUS316L、ハステロイC-22
- ゲージ圧： -0.1または0 ~ 0.5, 1MPa
- 4桁表示対応
- 電流/電圧出力対応。表示部の回転が可能 。
- アプリ：ガスパネル
HYP-B
- ゾーン0対応 本質安全防爆構造（ExiaⅡCT4X）
- ゲージ圧： -0.1または0 ~ 1, 5, 10, 20MPa
- 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
- 接ガス部：SUS316L（VCR, UJR継手）, SUS316（他継手）
- アプリ：ガス供給設備、シリンダーキャビネット（防爆エリア）
HYZ-N
- ゾーン2対応 非点火防爆構造”n”型（ExnAⅡCT5Gc）
- ゲージ圧： -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
- 接ガス部： SUS316L（VCR, UJR継手）, SUS316（他継手） ハステロイC-22（ダイヤフラム）
- アプリ：ガス供給設備、シリンダーキャビネット（防爆エリア）
KS
- ゾーン2対応 非点火防爆構造”n”型（ExnAⅡCT5Gc）
- ゲージ圧： 0 ~ 5kPaの微圧専用
- 電流出力、VCR, UJR, Swagelok, PT, PF等の継手に対応
- 接ガス部： SUS316L（VCR, UJR継手）, SUS316（他継手） ハステロイC-22（ダイヤフラム）
- アプリ：ガス供給設備、シリンダーキャビネット（防爆エリア）
SE3000
PFA一体型圧力センサー
- 強酸、強アルカリに最適なPFAセンサー
- -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
- 接液部：PFA
- アプリ：薬液供給
SE4000
粘度のあるCMPスラリーの圧力計測に最適
デッドスペースが無いため、CMPスラリーの硬化、気泡などトラブルがありません。
- フロースルー構造により高粘度に対応したPFAセンサー
- -0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、フレア、Super300等の継手に対応
- 接液部：PFA
- アプリ：スラリー
SE2203
高耐腐食性圧力センサー
セラミックダイヤフラム採用
- アンモニア用
- ゲージ圧：0 ~ 0.3, 0.5, 1MPa
- 4-20mA出力、チューブ出し1/2”
- 接液部：PTFE（ボディ）、セラミック（ダイヤフラム）、バイトン（O-ring）
- アプリ：アンモニア供給
SE2201
- アルミナセラミックによる耐腐食性能を有した微圧可能な測定センサー
- 0~50,100kPa
- 電流出力、Tube接続
- 接液部：PFA（ボディ）、セラミック（ダイヤフラム）、バイトン（O-ring）
- アプリ：排気ライン、薬液タンク
NPS1000B
小型デジタル圧力表示器
制御盤組込み用多機能表示器
- センサーへの供給電源内蔵の小型表示器
- 4桁表示対応
- 電流/電圧/RS485出力と豊富な選択肢
- 24×48mmのDIN規格対応
- アプリ：シリンダーキャビネット、制御盤
TDWS61B
デジタル表示器
センサーへの別電源不要な多機能表示器
- センサーへの供給電源内蔵、操作性に優れるジョグスイッチを採用
- 4桁表示対応
- 電流出力対応
- 48×96mmのDIN規格対応
- アプリ：シリンダーキャビネット、制御盤
SET100
各種流体用温度センサー
Ultra Cleanに応じた温度センサーラインナップ
- VCR継手で直接配管内の半導体材料ガスの温度測定が可能
- 100℃対応
- 電流出力、Pt100Ωに対応
- 接ガス部：SUS316L
- アプリ：シリンダーキャビネット
SEW
二線式高精度台はかり
液化ガスの残量管理に最適
- ボンベの残量監視に適した低床型ロードセル
- 0~50,100,200kgf ※□200は100kgfまで
- 電流出力対応、□200～□420
- カバー材質：SUS304
- アプリ：シリンダーキャビネット
