PRODUCT
HYW
ガス供給ライン（CC,VMB,BSGS）で効果を発揮する高精度圧力センサー
従来品に比べ安定性が向上
- 高耐食ハステロイダイヤフラム圧力センサ
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
- 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
- 接ガス部ハステロイC-22、SUS316L
- シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル
ARK
気化器周辺、超臨界装置、検査装置等、マルチに活躍する圧力センサ
高温流体計測用
- 高温流体用圧力センサ（最大150℃)
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
- 外部アンプより電流/電圧出力
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- 滅菌、気化、超臨界装置
HYZ
マイコン搭載高精度圧力センサ
高耐食性ハステロイダイヤフラム搭載
- デジタル処理による補正で安定性が向上
- -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 5, 20MPa
- 温度補正機能による安定性 ±0.02％FS/℃（温度補償範囲内）※
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル
HYPF
集積型ガスパネル用圧力センサー
高精度・環境変化に対して高い安定性を実現
- 接ガス部はオールSUS316L ガスパネル向け圧力センサ
- ゲージ圧：-0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
- 電流/電圧出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
- 接ガス部：SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
HYZF
マイコン搭載高精度圧力センサ
シール部の締め込みがゼロ値に影響しない構造
- 高耐食ハステロイダイヤフラム採用 ガスパネル向け圧力センサ
- -0.1または0~0.5, 1MPa
- 電流出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
- 接ガス部：ハステロイC-22、SUS316L
- 半導体製造装置向けガスパネル
SE1000
絶対圧センサ
真空容器やガス供給ラインでのロードロックに最適
- 真空圧力監視用 絶対圧センサ
- 絶対圧：0-760, 1000torr
- 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
- 接ガス部：SUS316L
- 真空容器やガス供給ラインのロードロック
SE700
お客様のご要望をいただきラインナップを増やしてきました
Swagelok、PTネジ、PFネジに対応
- 一般産業用圧力センサ
- ゲージ圧：-0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20MPa
- 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
- 接ガス部：ハステロイC-22またはSUS316L、SUS316
- 油圧、空圧、不活性ガスなど
