PRODUCT



 HYW

 ガス供給ライン(CC,VMB,BSGS)で効果を発揮する高精度圧力センサー

 従来品に比べ安定性が向上

 
  • 高耐食ハステロイダイヤフラム圧力センサ
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部ハステロイC-22、SUS316L
  • シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル



 ARH

 気化器周辺、超臨界装置、検査装置等、マルチに活躍する圧力センサ

 高温流体計測用

 
  • 高温流体用圧力センサ(最大150℃)
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20, 25, 35MPa
  • 外部アンプより電流/電圧出力
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • 滅菌、気化、超臨界装置



 HYZ

 マイコン搭載高精度圧力センサ

 高耐食性ハステロイダイヤフラム搭載

  
  • デジタル処理による補正で安定性が向上
  • -0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 5, 20MPa
  • 温度補正機能による安定性 ±0.02%FS/℃(温度補償範囲内)※
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • シリンダーキャビネット、VMB、ガスパネル



 HYPFZW

 集積型ガスパネル用圧力センサー

 高精度・環境変化に対して高い安定性を実現

 
  • 接ガス部はオールSUS316L ガスパネル向け圧力センサ
  • ゲージ圧:-0.1または0~0.3, 0.5, 1MPa
  • 電流/電圧出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
  • 接ガス部:SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 HYZFZW

 マイコン搭載高精度圧力センサ

 シール部の締め込みがゼロ値に影響しない構造

 
  • 高耐食ハステロイダイヤフラム採用 ガスパネル向け圧力センサ
  • -0.1または0~0.5, 1MPa
  • 電流出力、各種集積サイズのCシール、Wシール
  • 接ガス部:ハステロイC-22、SUS316L
  • 半導体製造装置向けガスパネル



 SE1000

 絶対圧センサ

 真空容器やガス供給ラインでのロードロックに最適

 
  • 真空圧力監視用 絶対圧センサ
  • 絶対圧:0-760, 1000torr
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:SUS316L
  • 真空容器やガス供給ラインのロードロック



 SE600/610

 産業用・汎用小型圧力センサ

 予算やスペースを気にしないで使えます

 
  • 産業用・汎用小型圧力センサ
  • 微圧50kPaから高圧35MPaまで選択可能
  • 1-5V出力
  • 接ガス部:SE600/SUS304・SUS630, SE610/SUS316L
  • フィルタの目詰り監視、容器レベル圧、油圧制御



 SE700

 お客様のご要望をいただきラインナップを増やしてきました

 Swagelok、PTネジ、PFネジに対応

 
  • 一般産業用圧力センサ
  • ゲージ圧:-0.1または0~0.5, 1, 2, 3.5, 20MPa
  • 電流/電圧出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:ハステロイC-22またはSUS316L、SUS316
  • 油圧、空圧、不活性ガスなど



 SE900

 耐腐食性微圧計測用圧力センサ

 フィルターの目詰り監視に最適

 
  • アルミナセラミックスダイヤフラム採用 ガス用微圧センサ
  • 0~50, 100kPa ※負圧測定も可能
  • 電流出力、VCR/UJR等の豊富な選択肢
  • 接ガス部:アルミナセラミックス、SUS316
  • ダクト・フィルタ監視